xrf荧光光谱仪主要用于测试光致发光的样品的各种发光性质。基本组成是光源、激发单色器、样品仓、发射单色器和检测器。
通常xrf荧光光谱仪上使用的光源可归类为稳态和瞬态光源。稳态光源一般是光谱及能量连续输出的氙灯。瞬态光源为频率可调、具有特定脉宽的脉冲输出光源，通常为皮秒脉冲激光器、皮秒脉冲发光二极管、微秒脉宽闪烁氙灯等。
xrf荧光光谱仪分类：
荧光光谱仪是测定材料发光性能的基本设备。通用荧光光谱仪大致可分为3种：
(1) 基本型：在200-800 nm的紫外可见波段的稳态光谱仪。
(2) 扩展型：覆盖200-1700 nm波段的紫外可见-近红外稳态光谱仪。
(3) 综合型：覆盖上述两个波段，同时可测瞬态光谱的光谱仪。
xrf荧光光谱仪主要部件：
光源：提供不同波长的激发光
单色器：激发单色器将光源发出的复色光变成单色光，发射单色器将发出的荧光与杂散光分离，防止杂散光对荧光测定产生干扰。
狭缝：控制光通量
检测器：光电倍增管
样品池：四面透明正方形石英池，长1cm，宽1cm
xrf荧光光谱仪主要用途：
（1）荧光激发光谱和荧光发射光谱
（2）同步荧光（波长和能量）扫描光谱
（3）3D（Ex Em Intensity)
（4）Time Base和CWA(固定波长单点测量）
（5）荧光寿命测量，包括寿命分辨及时间分辨
（6）计算机采集光谱数据和处理数据（Datamax和Gram32)
