xrf荧光光谱仪采用两种分光技术，一是通过分光晶体对不同波长的X-荧光进行衍射而达到分光目的，然后用探测器探测不同波长处X-荧光强度，这项技术称为波长色散光谱。另一项技术是首先使用探测器接收所有不同能量的X-荧光，通过探测器转变成电脉冲信号，经前置放大后，用多道脉冲高度分析器进行信号处理，得到不同能量X-荧光的强度分布谱图，即能量色散光谱，简称X-荧光能谱。
xrf荧光光谱仪的特征谱线的产生是基于不同的机理：
a、入射X射线轰击原子的内层电子，如果能量大于它的吸收边，该内层电子被驱逐出整个原子（整个原子处于高能态，即激发态）。
b、较高能级的电子跃迁，补充空穴，整个原子回到低能态，即基态。
c、由高能态转化为低能态，释放能量。
d、能量如果以X射线的形式释放，则会产生X射线荧光。
xrf荧光光谱仪系统特点如下：
1、软件系统
单道、双道同时检测功能。
2、外观设计
采用流行的机箱设计，整体结构简单，操作方便，具有良好的电磁兼容性。
3、光路系统
采用具有金索坤特色的短焦不等距无色散光路系统，比使用短焦等距光路系统接收的荧光信号强度提高了倍。
4、进样系统
采用了的特制大滚轮单泵双通路进样技术，既可实现传统进样方式，又可实现具有金索坤发明技术的连续流动进样方式。使得管路路径短，记忆效应小;连接简单，操作方便，便于维护。
5、气路传输系统
具有金索坤技术的气体传输室，在极大地缩短了管路，有效地消除记忆效应的同时使氢化反应生成的氢气、被测元素气体和载气充分混匀后传输到原子化器。为被测元素能够地原子化奠定了基础。
6、电路系统
其中光源控制部分采用占空比可调式双路脉冲供电，根据测试不同元素可选择不同占空比，既提高了高性能空心阴极灯的强度，又延长了灯的使用寿命。
