波长型X射线荧光光谱仪具有真空测量室和超薄探测器输入窗口,测量分析精度高,可测元素范围高达9F~17Cl。
波长型X射线荧光光谱仪采用高性能硅漂移探测器SDD,能量分辨率低到135eV，可定义测量几乎所有元素谱线，可分析多种元素多成分物质，比如高合金钢，精密合金，多金属矿石等。
波长型X射线荧光光谱仪简单，相互干扰少，样品不必分离，分析方法比较简便，分析浓度范围较宽,从常量到微量都可分析。重元素的检测限可达ppm量级，轻元素稍差，分析样品不被破坏，分析快速，准确，便于自动化。
波长型X射线荧光光谱仪的性能好坏如何判断呢？可从以下四个方面去考虑。
1、波长范围。波长范围是X荧光光谱仪所能测量的波长区间。使用新型探测器可以使之前的范围拓展一些距离，即覆盖紫外、可见和近红外波段。光栅的类型以及探测器的类型会影响波长范围。
2、波长分辨率。波长分辨率描述了光谱仪能够分辨波长的能力，波长分辨率与波长的取样间隔是两个不一样的概念。高的波长分辨率意味着窄额度波长范围
3、噪声等效功率和动态范围。当信号的值与噪声的值相当的时候，从噪声中分辨信号就会困难。一般用与噪声相当的信号的值来表征能一个光谱仪所能够测量的弱的光强。噪声等效功率越小，光谱仪就可以测量弱的信号。
4、敏度与信噪比。敏度描述了X荧光光谱仪把光信号变成电子学信号的能力，高的敏度减小电路本身的噪声对结果影响。狭缝的宽度、光栅的类型、探测器的类型以及电路的参数都会影响敏度。人为地调高前置放大电数也会提高名义上的敏度，但并不实际的测量。
