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Hitachi SU9000新型超高分辨冷场发射扫描电镜
日立2011年新推出了SU9000新型超高分辨冷场发射扫描电镜，达到扫描电镜高二次电子分辨率0.4nm和STEM分辨率0.34nm。日立SU9000采取了全新改进的真空系统和电子光学系统，不仅分辨率性能明显提升，而且作为一款冷场发射扫描电镜甚至不需要传统意义上的Flashing操作，可以高效率的快速获取样品超高分辨扫描电镜图像。
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Hitachi SU8010高分辨场发射扫描电镜
HITACHI SU-8010高分辨场发射扫描电镜包括SU-8010主机和E-1045喷铂喷碳装置，并配备有EDAX X射线能谱仪。加速电压为15kV时，分辨率为1.0nm，加速电压为1kV时，分辨率为1.3nm。
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Hitachi S-3700N多功能分析型可变压扫描电镜
研究超大，超重，多功能分析型可变压扫描电镜可载样品直径达300mm；观察区域直径达203mm； 在观察110mm高样品时可进行能谱分析
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Hitachi SU3500新一代超高分辨钨灯丝扫描电镜
SU3500新一代超高分辨钨灯丝扫描电镜所具备的新型的模拟图像和改进后的电子光学系统以及图像显示算法使之能够在低加速电压下获得更高的分辨率。3KV电压时，SE图像可达7nm,5KV电压时，BSE图像可达10nm。新开发的自动多级电子枪偏压机构能够在不降低电子束大小的情况下，在一定范围内的常用加速电压下增加发射电流。因此，此款产品与S-3400N相比，噪音得以大幅减少，成像更加清晰。
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AeroSurf 1500全新台式大气压显微镜
2016年，日立公司推出大气压下全新台式大气压显微镜AeroSurf1500，其*的设计可在大气压下得到清晰的扫描电子图像。
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TM4000/TM4000Plus台式电子扫描电镜
日立TM4000台式电子扫描电镜*的低真空系统使得样品不需任何处理即可快速进行观察。TM4000优化提供5kV、10kV、15kV三种不同电压下的观察模式，每种模式下电流4档可调，并配备4分割背散射探测器，可采集四个不同方向的图像信息，对样品进行多种模式成像。具有全新的SEM-MAP导航功能，同时，电镜图片可以报告形式导出。配备大型样品仓，可容纳大样品直径80mm，厚度50mm。
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FlexSEM 1000钨灯丝扫描电镜
FlexSEM1000是日立公司推出的一款机型小巧性能优异的钨灯丝扫描电镜，拥有大束流和低球差的物镜和聚光镜设计，配备了高分辨率二次电子探头及高灵敏度五分割背散射探头，具有的低真空成像能量，并且采用的SEM MAP高精度导航系统及的自动化功能，使性能更加优越，使用更加简便。
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