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多功能分析型可变压扫描电镜

型 号Hitachi S-3700N

产品时间2020-03-06

所属分类扫描电子显微镜(电镜)

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产品描述:研究超大,超重,多功能分析型可变压扫描电镜可载样品直径达300mm;观察区域直径达203mm; 在观察110mm高样品时可进行能谱分析
产品概述

研究超大,超重,多功能分析型可变压扫描电镜

 

● 可载样品直径达300mm

● 观察区域直径达203mm

● 在观察110mm高样品时可进行能谱分析

● 样品室设置多种接口,可安装EDS、WDS、EBSD和CL等多种分析用附件

● 5轴优中心马达台可以倾斜--20°~+90° 

● 采用节能,清洁的涡轮分子泵

 

S-3700N多功能分析型可变压扫描电镜技术参数

分辨率SE 3.0nm,30KV(高真空模式)
10nm, 3KV(高真空模式)
BSE 4.0nm,30KV(低真空模式)
放大倍率x5~x300,000
加速电压0.3~30KV
低真空范围6~270Pa
图像电位移±50μm (工作距离 10mm)
*装载样品直径300mm

 

样品台

X150mm
Y110mm
Z5~65mm
R360°
T-20°~90°
观测区域203mm直径
样品*高110mm(工作距离10mm)
样品台类型优中心马达台

 

电子光学系统

灯丝预对中灯丝
物镜光阑4孔活动光阑4孔活动光阑
枪偏压固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压
探测器二次电子探头
5分割半导体式被散射探头
分析位置工作距离10mm,取出角35°

 

显示控制系统

控制模式键盘鼠标、操纵杆、旋钮板
显示器液晶显示器
辅助功能3D动画演示功能
电镜操作导航功能
样品操作导航功能
倾斜补偿功能
存储图像精度640 x 480 , 1280 x 960
2560 x 1920 , 5120 x 3840
图片格式BMP, TIFF, JPEG
图像显示模式全屏模式:1280 x 960
标准模式:640 x 480
分割模式:640 x 480 点 x 2
信号混合模式

 

真空系统

控制模式全自动
分子210升/秒,一台
机械泵135升/分,一台
保护措施断电保护、漏气保护

 

 

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