X射线荧光光谱仪是一种基于XRF光谱分析技术的光谱分析仪器，主要由X光管、探测器、CPU以及存储器组成，由于其便携具有高效、便携、准确等特点，使其在合金、矿石、环境、消费品等领域有着重要的应用。
仪器要求具有高的分辨率和信噪比、更好的强度准确性和波长准确性以及强的抗外界干扰性和优良的仪器稳定性，在仪器的软件上，要求能够进行导数、去卷积等复杂的数学计算，能够计算光谱间相似度、模式识别分析、支持多元校正分析和用户自建谱库并进行检索。
X射线荧光光谱仪应用领域非常广泛，涉及:电力、石化、考古、金属加工、压力容器、废旧物资回收、航空航天、地质勘探、矿山测绘、开采、矿石分选、矿产贸易、金属冶炼、环境监测、土壤监测、玩具、服装、鞋帽、电子产品等众多领域。
X射线荧光光谱仪物理原理和结构组成：
当材料暴露在短波长X光检查，或伽马射线，其组成原子可能发生电离，如果原子是暴露于辐射与能源大于它的电离势，足以驱逐内层轨道的电子，然而这使原子的电子结构不稳定，在外轨道的电子会“回补”进入低轨道，以填补下来的洞。在“回补”的过程会释出多余的能源，光子能量是相等两个轨道的能量差异的。因此，物质放射出的辐射，这是原子的能量特性。
1、X射线荧光光谱分析仪由激发系统、分光系统以及仪器控制和数据处理系统组成，具有的高灵敏度与宽动态范围的特性使其成为了同等级中性能高的微型光谱仪。其超高的性能可以大大提高吸光度、反射率、荧光与拉曼检测的度。
2、激发系统，主要部件为X射线管，可以发出原级X射线（一次X射线），用于照射样品激发荧光X射线；
3、分光系统，对来自样品待测元素发出的特征荧光X射线进行分辨（主要为分光晶体）；探测系统，对样品待测元素的特征荧光X射线进行强度探测；
4、仪器控制和数据处理系统，处理探测器信号，给出分析结果。
