X射线荧光光谱仪是根据X射线荧光光谱分析方法配置的多通道X射线荧光光谱仪，能够分析固体或粉状样品中各种元素的成分含量，具有灵敏度高、精密度好、性能稳定、分析速度快等特点，是一种中型、经济、高性能的波长色散X射线光谱仪。
X射线荧光光谱仪由激发源（X射线管）和探测系统构成。X射线管产生入射X射线（一次X射线），激发被测样品。受激发的样品中的每一种元素会放射出二次X射线，并且不同的元素所放射出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。探测系统测量这些放射出来的二次X射线的能量及数量。然后，仪器软件将探测系统所收集到的信息转换成样品中各种元素的种类及含量。
X射线荧光光谱仪特点：
（1）荧光分析的主要特点是灵敏度高、选择性好，荧光分析的灵敏度要比吸收光谱测量高2-3个数量级。分光光度法通常在 10-7 级，而荧光的灵敏度达10-9。
（2）强选择性强，荧光物质具有两种特征光谱：激发光谱和吸收光谱，相对于分光光度法单一的吸收光谱来说，荧光光谱可根据激发光谱和发射光谱来鉴定物质。
（3）信息量丰富，能提供荧光物质的多种参数。
（4）但是荧光分析方法也有其不足之处：①很多物质本身不发荧光；②荧光的产生与化合物结构的关系不明确；③干扰因素多，光分解、氧淬灭、易污染。
X射线荧光光谱仪开机的操作步骤：
1、开启断电保护开关，同时检查有无异常现象，如有跳闸情况出现，应查明原因；
2、开启稳压电源开关，如是UPS，则后面的旁路开关必须处于关闭状态；
3、开启仪器主机电源开关，主机就绪后开启计算机，打开仪器附件，连接就绪后运行仪器工作站，检查仪器连接有无异常，检查仪器真空度。
4、顺时针90°拧动主机前的钥匙开启高压开关，检查X光管冷却水流量、液氮的液位以及温度，正常后开启探测器高压。
5、仪器稳定后对仪器进行校正，了解仪器的运行状况。
