X射线荧光光谱仪是一种较新型可以对多元素进行快速同时测定的仪器。在X射线激发下，被测元素原子的内层电子发生能级跃迁而发出次级X射线。波长和能量是从不同的角度来观察描述X射线所采用的两个物理量。
X射线荧光光谱仪主要特点是灵敏度高、选择性好，灵敏度要比吸收光谱测量高2-3个数量级。分光光度法通常在10-7级，而荧光的灵敏度达10-9。
值得一提的是，X射线荧光光谱仪分析技术是一种非侵入式、能够对不同材料中的化学组成实现快速分析的无损检测技术。这些特性使得该分析技术在许多方面都更加实用且更具优势。其主要应用范围包括：金属合金材料的可靠性鉴别（PMI）、危险品检测、材料验证以及司法科学等方面。
近年来，荧光光谱仪分析技术的进步主要体现在仪器成本的降低和体积尺寸的减小，这些进步均有效的扩大了XRF的使用范围。商业化荧光光谱仪（HHXRF）大约诞生于20年前，这是该技术发展历的一个重要转折点，因为HHXRF的出现实现了从固定的台式光谱仪到移动化便捷设备的转变。
x射线荧光光谱仪可广泛应用于下面这些领域中：
一：钢铁
生铁、铸铁、不锈钢、低合金钢、炉渣、矿石、铁合金、特种钢、表面处理钢板、电镀液
二：有色金属
铜合金、铝合金、铅合金、锌合金、镁合金、贵金属
三：建筑材料
水泥、水泥原料、熟料、石灰石、粘土、玻璃、砖
四：电子/磁性材料
半导体、光磁盘、磁铁、电池、线路板、电容
五：化学工业
无机/有机产品、化学纤维、催化剂、涂料、颜料、药品、 化妆品、洗涤剂 石油/煤炭、石油、重油、润滑油、树脂、煤炭、焦炭
六：农业、食品原料
土壤、肥料、植物、食品
